微影製程(英語:photolithography)是半導體元件製造製程中的一個重要步驟,該步驟利用曝光和顯影在光阻層上刻畫幾何圖形結構,然後通過蝕刻製程將光罩上的圖形轉移到所在基板上。這裡所說的基板不僅包含矽晶圓,還可以是其他金屬層、媒介層,例如玻璃、SOS中的藍寶石。 See more 下面以基板上金屬連接的蝕刻為例講解微影過程。 首先,通過金屬化過程,在矽基板上布置一層僅數奈米厚的金屬層。然後在這層金屬上覆上一層光阻。這層光阻劑在曝光(一般是紫外線波長的 See more 超大規模積體電路(VLSI)是曝光使用投影系統。曝光機可以應用於積體電路產業鏈中晶圓製造、封裝測試,以及平板顯示、高亮度LED等領域。 See more 微影製程中採用的感光物質被稱為光阻,主要分為正光阻和負光阻兩種。正光阻未被光照的部分在顯影後會被保留,而負光阻膠被感光的部分在顯影後會被保留。光阻不僅需要對指定的光照敏 … See more 基板的準備 在塗抹光阻之前,矽基板一般需要進行預處理。一般情況下,基板表面上的水分需要蒸發掉,這一步通過脫水烘焙來完成。此外,為了提高光阻在基 … See more Web“photolithography”的语境翻译在英语-中文。以下是许多翻译的例句,其中包含“photolithography” - 英语-中文翻译和搜索引擎英语翻译。
photolithographic中文,photolithographic的意 …
WebFeb 14, 2024 · 通过光线在晶圆上绘制电路的曝光. 通过涂胶工序,形成光刻胶 (PR)膜,使晶圆成为类似于相纸 的状态后,使用曝光设备 (步进式光 刻机,Steper)使光穿过包含电路图形的光 … WebIn telecommunication, a microstrip antenna (also known as a printed antenna) usually means an antenna fabricated using photolithographic techniques on a printed circuit board (PCB). [1] It is a kind of internal antenna. They are mostly used at microwave frequencies. An individual microstrip antenna consists of a patch of metal foil of various ... grammy rap album of the year 2022
photolithography mask layer 中文是什么意思 - 爱查查
WebOptical Lithography. Patrick Naulleau, in Comprehensive Nanoscience and Nanotechnology (Second Edition), 2024. Abstract. Optical lithography is a photon-based technique comprised of projecting an image into a photosensitive emulsion (photoresist) coated onto a substrate such as a silicon wafer. It is the most widely used lithography process in the … Web多功能晚稻秧田专用肥筛试验小结主要由范浩定、王锡金编写,在1996年被《中国稻米》收录,原文总共2页。 微影製程(英語:photolithography)是半导体器件制造工艺中的一个重要步骤,该步骤利用曝光和显影在光阻层上刻画几何图形结构,然后通过刻蚀工艺将光掩模上的图形转移到所在衬底上。这里所说的衬底不仅包含矽晶圆,还可以是其他金属层、介质层,例如玻璃、SOS中的蓝宝石。 grammy rap album of the year 2021